Filtration

Entegris propose des produits de filtration, qui reposent sur une multitude de technologies de culture et sur certains critères de performance, ainsi que sur des services d'analyse pour détecter toute contamination dans des environnements technologiques et analyser et valider les matériels.

Filtration de gaz

Technologies de filtration en nickel, acier inoxydable et Téflon®. Les produits Entegris de filtration ultrapure de gaz permettent de retenir les particules de 0,003 microns minimum. Les filtres de gaz Wafergard® combinent un fonctionnement à haut débit avec un encombrement minimum. Les produits Entegris de filtration ultrapure de gaz sont utilisés par tous les grands fabricants de semi-conducteurs et ceux d'appareils dans le domaine de la gravure, des outils d'implantation ionique, par dépôt chimique en phase vapeur, et par dépôt physique en phase vapeur, ainsi que d'autres applications à haute performance, comme le photovoltaïque, l'écran plat, le stockage de données, les diodes électroluminescentes à haute intensité, les piles lithium-ion ou en Life Science. Entegris incorpore ses filtres de gaz dans nos purificateurs de gaz afin d'offrir des processus et des gaz de purge exempts de toute contamination par des molécules ou des particules.

 

Filtration liquide

Contrôle de la contamination des liquides de procédé. Le contrôle de la contamination ne cesse d'évoluer et de permettre des avancées technologiques et des améliorations en termes de productivité dans la fabrication des semi-conducteurs, des écrans plats, des produits de stockage de données, des cellules photovoltaïques, des piles lithium-ion, et dans les sciences de la vie. Les suspensions de polissage mécano-chimique, les acides, bases, la photochimie et l'eau déionisée nécessitent tous une filtration poussée, afin d'éliminer les particules susceptibles d'entraîner des défauts et de s'agglomérer avant d'atteindre le wafer ou la surface du substrat. Entegris propose un panel complet de filtres permettant de résoudre les problèmes rencontrés par nos clients lors du contrôle de la contamination.

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